硅片尺寸：156.75*156.75mm，158.75*158.75mm，166*166mm，182*182mm，210*210mm

厚度： (150/160/170/175/180) +20/- 10µm， (150/160/165/170/175/180)+20/- 10µm， (150/160/165/170/175/180) +20/- 10µm， (150/160/165/170/175/180) +20/- 10µm， (150/160/165/170/175/180) +20/- 10µm ，ASTM F533

TTV ：≤27 µm ，≤27 µm ，≤27 µm， ≤27 µm， ≤30 µm， ASTM F533,F657

线痕：≤ 13 µm ，≤ 13µm ，≤ 13µm， ≤ 15µm， ≤15µm， 光学或粗糙度测试仪 CCD/SJ-201(301)

查看更多：[11]-wafers datasheet-Fly.pdf